フォトリソとケミカルエッチング技術を組み合わせ製作されたガラス微細加工の一例です 。ケミカルエッチング加工する事で端面形状が滑らかでマイクロクラックレスで仕上がります。ガラスの種類・外寸/形状/板厚・開口径/ピッチ・平坦性・オリフラ加工など あらゆる設計仕様に対応します。

凸型パターン

凹型パターン

貫通穴付きキャビティガラス（両面掘り）